Device for detecting film thickness

Dispositif pour détecter l'épaisseur d'un film

膜厚的检测装置

Abstract

L'invention concerne un dispositif pour détecter l'épaisseur d'un film, comprenant une unité commune (1) et une unité de détection (2). L'unité commune (1) comprend au moins une électrode commune (11), et l'unité de détection (2) comprend au moins une puce de détection (21) et une unité de traitement de signaux (23). Chacune des puces de détection (21) fait face à l'unité commune (1) et est espacée de celle-ci dans une première direction. Les espaces entre l'unité commune (1) et les puces de détection (21) forment un canal de transport d'un film à l'essai. Les puces de détection (21) comprennent au moins une rangée de multiples électrodes de détection (211) disposées dans une seconde direction. La seconde direction est perpendiculaire à une direction de déplacement du film à l'essai. La première direction est perpendiculaire à un premier plan, et le premier plan est parallèle à la seconde direction. Les puces de détection (21) sont utilisées pour détecter et émettre un signal électrique de l'électrode commune (11). L'unité de traitement de signaux (23) est connectée électriquement aux puces de détection (21), et traite et émet un signal électrique émis par les puces de détection (21).
一种膜厚的检测装置,包括公共单元(1)和检测单元(2),公共单元(1)包括至少一个公共电极(11),检测单元(2)包括至少一个传感器芯片(21)与信号处理单元(23),各传感器芯片(21)与公共单元(1)在第一方向上相对且间隔设置,公共单元(1)与各传感器芯片(21)之间的间隔构成待测膜的传输通道,各传感器芯片(21)包括至少一行沿第二方向排列的多个检测电极(211),第二方向与待测膜的移动方向垂直,第一方向与第一平面垂直,第一平面与第二方向平行,各传感器芯片(21)用于感应公共电极(11)上的电信号并输出;信号处理单元(23)与各传感器芯片(21)电连接,对各传感器芯片(21)输出的电信号进行处理并输出。
A device for detecting a film thickness, comprising a common unit (1) and a detection unit (2). The common unit (1) comprises at least one common electrode (11), and the detection unit (2) comprises at least one sensor chip (21) and signal processing unit (23). Each of the sensor chips (21) is opposite to and spaced apart from the common unit (1) in a first direction.The spaces between the common unit (1) and the sensor chips (21) form a transport channel of a film under test. The sensor chips (21) comprise at least one row of multiple detection electrodes (211) arranged in a second direction. The second direction is perpendicular to a moving direction of the film under test. The first direction is perpendicular to a first plane, and the first plane is parallel to the second direction. The sensor chips (21) are used to sense and output an electrical signal of the common electrode (11). The signal processing unit (23) is electrically connected to the sensor chips (21), and processes and outputs an electrical signal outputted by the sensor chips (21).

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Patent Citations (5)

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